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Keramische Heizelemente

aus heißgepresster Siliziumnitridkeramik


Heizplatten

für Industrieanwendungen

Produkte / Keramische Heizelemente / Heizplatten

Heizplatten


Beschreibung

Keramische Heizplatten aus Siliziumnitrid können bis zum Außendurchmesser von 400 mm hergestellt werden, innerhalb dieses Durchmessers sind sämtliche Rechteckformen, Sonderformate und Durchbrüche möglich, eine typische Höhe der Platte ist 5 mm. Die Eigenschaften der Keramik und die geringe Masse ermöglichen schnelle Aufheizraten, eine homogene Temperaturverteilung und sehr gute Regelgenauigkeit. Aufgrund der geringen Wärmedehnung der Keramik bleibt die Oberfläche auch bei Temperaturwechselbetrieb im Vergleich zu Metallen sehr eben. Die hohe Festigkeit des heißgepressten Siliziumnitrids erlaubt eine hohe Beanspruchung (z. B. bei Druckbelastung) bei sehr geringem Verschleiß. Wir bieten Heizplatten für den Betrieb an Luft bis 500 °C an, für höhere Anforderungen (bis 1 000 °C) können Sonderlösungen erarbeitet werden. Beim Dauerbetrieb an Luft bei > 900 °C ist allerdings mit einer begrenzten Standzeit von ca. 2 500 Betriebsstunden zu rechnen, während beim Betrieb unter Hochvakuum auch bei 1 000 °C die Alterung extrem gering ist.


Kundenspezifisches Design

Unser hauseigenes Design bietet eine Anpassung der Größe und Bauform, Leistung, sowie das Einbringen von Bohrungen für Halterung und Temperaturregelung, außerdem sind gelaserte Vakuumrillen möglich. Die Plattenheizer werden flachgeschliffen, können aber für besondere Anforderungen auch auf < 10 μm Ebenheit bearbeitet werden. Ebenfalls sind abweichende Konturen möglich, die der Form des zu beheizenden Gutes bzw. Werkzeugs angepasst werden können. Unser keramischer Heizleiter und das kundenspezifische Design realisieren außerdem die Integration von mehreren Heizzonen, Wärmeentzugskompensationen und eines internen Messleiters für die Temperaturmessung. Für den Betrieb im Hochvakuum bis 1 000 °C kann eine Pinkontaktierung angeboten werden.


Produktauswahl

Folgend nur eine kleine Auswahl unserer Produkte. Weitere Ausführungen können Sie gerne über unser Produktanfrageformular erfragen.

Abmaße Beheizter Bereich Tmax
Ø 60 x 80 x 4,0 mm Ø 45 x 4,0 mm 800 °C
Ø 60 x 93,9 x 5,0 mm Ø 60 x 5,0 mm 1 000 °C
Ø 100 x 7,0 mm Ø 100 x 7,0 mm 500 °C
160 x 100 x 4,5 mm 100 x 100 x 4,5 mm 800 °C

Vorteile

Welche Vorteile haben Sie?

  • Sie erreichen eine homogene Temperaturverteilung bei gleichzeitig hoher Ebenheit der Heizplatte
  • Die hohe Festigkeit ermöglicht eine lange Lebensdauer auch bei Druck- und Temperaturwechselbelastung
  • Die Heizplatten können nach Ihren Anforderungen angepasst werden
  • Betrieb im Hochvakuum oder unter Schutzgas bis 1 000 °C möglich

Anwendungsbereiche

  • Halbleiterherstellungsanlagen (z. B. Bonder)
  • Beschichtungsanlagen (CVD, PVD)
  • Lötanlagen
  • Vakuumtechnik
  • Verpackungsmaschinen
  • Medizintechnik
  • Maschinenbau
  • Pressen
  • F&E - Laborgeräte, Mess- und Prüfgeräte, Reaktoren
  • Werkzeugbeheizung