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Keramische Heizelemente

aus heißgepresster Siliziumnitridkeramik


Flachheizer

aus Hochleistungskeramik

Produkte / Keramische Heizelemente / Flachheizer

Flachheizer


Beschreibung

Flachheizer aus Siliziumnitrid sind typischerweise rechteckig. Innerhalb unseres Matrizendurchmessers von 400 mm können verschiedene Maße und Losgrößen hergestellt werden. Die Eigenschaften der Keramik und die geringe Masse ermöglichen schnelle Aufheizraten, eine homogene Temperaturverteilung und sehr gute Regelgenauigkeit. Kleine Heizelemente können geregelt mit einer sehr hohen Oberflächenleistung betrieben werden und erlauben hohe Prozesstaktzeiten. Aufgrund der geringen Wärmedehnung der Keramik bleibt die Oberfläche auch bei Temperaturwechselbetrieb im Vergleich zu Metallen sehr eben. Die hohe Festigkeit des heißgepressten Siliziumnitrids erlaubt eine hohe Beanspruchung (z. B. bei Druckbelastung) bei sehr geringem Verschleiß. Wir bieten Flachheizer für den Betrieb an Luft bis 500 °C an. Für höhere Anforderungen (bis 1 000 °C) können Sonderlösungen erarbeitet werden.


Kundenspezifisches Design

Unser hauseigenes Design bietet Anpassung der Größe, Bauform und Leistung sowie das Einbringen von Bohrungen für Halterung und Temperaturregelung. Außerdem sind gelaserte Vakuumrillen möglich. Die Flachheizer werden flachgeschliffen, können aber für besondere Anforderungen auch auf < 10 μm Ebenheit bearbeitet werden. Ebenfalls sind abweichende Konturen möglich, die der Form des zu beheizenden Gutes bzw. Werkzeugs angepasst werden können. Unser keramischer Heizleiter und das kundenspezifische Design realisieren außerdem die Integration von mehreren Heizzonen, Wärmeentzugskompensationen und eines internen Messleiters zur Temperaturmessung.


Produktauswahl

Folgend nur eine kleine Auswahl unserer Produkte. Weitere Ausführungen können Sie gerne über unser Produktanfrageformular erfragen.

Abmaße Beheizter Bereich Tmax
7 x 3 x 1,5 mm 7 x 3 x 1,5 mm 500 °C
14 x 14 x 4,5 mm 14 x 14 x 4,5 mm 500 °C
22 x 14 x 3,0 mm 22 x 14 x 3,0 mm 500 °C
55 x 35(16) x 4,0 mm 25 x 35 x 4,0 mm 1 000 °C

Vorteile

Welche Vorteile haben Sie?

  • Sie können die Wärme genau an die Stelle bringen wo sie benötigt wird
  • Schnelle Aufheizraten reduzieren Prozesszeiten und verkürzen Taktzeiten
  • Die inerte und chemisch resistente Keramik bringt keine Kontamination in ihre Anlagen

Anwendungsbereiche

  • Halbleiterherstellungsanlagen (z. B. Bonder)
  • Beschichtungsanlagen, Verdampfern
  • Lötanlagen
  • Vakuumtechnik
  • Verpackungsmaschinen
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Maschinenbau
  • F&E - Laborgeräte, Mess- und Prüfgeräte, Reaktoren
  • Werkzeugbeheizung